自動測量金相顯微鏡是一種結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力和影像儀的X、Y、Z軸表面尺寸測量功能的高精度、高效率自動測量儀器。適于芯片、晶圓、光纖、光器件、液晶面板、3D玻璃等，對測量精度要求較高且需自動化批量測量的行業，既可作高倍率觀察也可做高精度測量，尤其適于晶圓切割、晶粒粘貼、焊線和外觀檢測（外引腳的平整性、共面度、腳距）等行業。

主要特點

強大的編程功能，可批量測量。

◎配置操縱手柄，亦可軟件程控，完成工作臺快速移動。

◎X、Y、Z軸伺服控制，定位精度高、速度快

◎固定式玻璃工作臺及大理石平臺底座，穩定性好，承載量大，精度高，可測量較大、較重零件而不影響儀器精度。

◎進行高速測量，提高測量效率。

選用高清品牌相機，搭載soptop高端金相系統，整體成像清晰無閃爍，視場開闊。

測量精度在同類設備中最高，視場內精度最高可做到1μm，重復精度最高可達0.5μm。

物鏡可切換多種倍率：5X，10X，20X，50X（選配）100X（選配），最高綜合倍率最高可達2000倍以上。

○單視野范圍內測量精度±1μm，重復精度±0.5μm 加裝光譜共焦位移傳感器可測高度、深度、平面度，測量精度±1μm。

○可選配超長工作距離APO物鏡。

○標配反射和透射LED可程控光源或非程控鹵素光源。利用可變孔徑光闌，可進行無衍射觀察測量?！鹂筛鶕蛻粜枨?，訂制各種尺寸工作臺，目前最大行程可做3000*2000mm，最小行程可做50*50mm工作臺。

○可快速釋放平臺，便于在大工件測里或者多產品測量時快速移動工作臺。

○有精調/微調兩種模式，便于精確聚焦和觀察測量，快速定位焦面。

○顯示分辨率最高可做到0.00005mm。

○可根據客戶要求加配激光測頭，各種規格攝像機以及更高精度光柵等（光尺最高選配0.01μm）。

○自主研發金相量測軟件，頁面簡潔大氣，操作方便易上手，更具有自動抓邊，編程測量等功能，可適高精度的復雜工件測量。

○測量數據支持讀取處理，便于客戶建立測量數據管理系統，對接內部ERP系統，從而幫助客戶提升制造信息化，智能化水平。